AERA PI-980 SERIES

Благодаря применению ведущей технологии измерения расхода, нечувствительные к давлению регуляторы массового расхода серии Aera PI-980 предвосхищают растущую потребность полупроводниковых производственных технологий следующего поколения, в т.ч. травления, CVD (химического осаждения из газовой фазы), PVD (физического осаждения из паровой фазы) и диффузии из газовой фазы.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

• Режим работы нечувствителен к давлениям
• Высокая точность и повторяемость компонентов, встраиваемых в панель газоснабжения
• Конфигурация, сертифицированная для работы со свежим газом, с несколькими газами и в нескольких диапазонах
• Программируется в условиях эксплуатации
• DeviceNet, RS-485 или аналогичный вариант управления
• Цельнометаллические уплотнения и конструкция, обеспечивающая высокую чистоту

ПРЕИМУЩЕСТВА

• Улучшенные характеристики подачи газа и повышенная производительность
• Простота интеграции при установке
• Существенная экономия на стоимости панели газоснабжения
• Сокращение места, занимаемого панелью газоснабжения
• Управление и связь в режиме реального времени
• Сервисная и клиентская служба мирового класса