SAM® 1480/2480 G4

Модели серии G4 представляют собой современные регуляторы массового расхода, удовлетворяющие и превышающие уровень требований полупроводниковой отрасли нынешнего и будущего поколений.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

• Возможность выбора различных газов и различных диапазонов работы
• Режим работы нечувствителен к давлениям
• Функция запорного вентиля
• Встраиваемая в линию система контроля расхода
• Функция самокалибровки
• ЖК-дисплей (температура, давление, настройка выходных параметров) упрощает процедуры управления

ПРЕИМУЩЕСТВА

• Высокая степень нечувствительности к входному давлению
• Один регулятор массового расхода может работать с двумя и более типами газа и в нескольких диапазонах
• Потребность в специальном оборудовании ограничивается лишь несколькими моделями
• Сокращение капитальных затрат и расходов на инвентарь
• Сохранение эффективности после перехода на другой газ
• Сокращение времени, необходимого на продувку газом
• Полное перекрытие подачи газа
• Объем утечки газа составляет лишь 1/10 по отношению к этому же показателю для стандартной комбинации (регулятор массового расхода и пневматический клапан)
• Снижение пульсаций газа
• Один регулятор массового расхода может работать с двумя и более типами газа и в нескольких диапазонах
• Потребность в специальном оборудовании ограничивается лишь несколькими моделями
• Сокращение капитальных затрат и расходов на инвентарь
• Обслуживание проводится при переходе на другой газ