Halbleiter (UHP)

GCE liefert Komponenten und Systeme für Gasapplikationen in der Halbleiterindustrie Zum Produktprogramm gehören Regler, Ventile, Einflaschenstationen oder Umschaltstationen und Massflowcontroller (MFC) für die folgenden Ultra-High-Purity (UHP)-Anwendungen:

• Wafer-Produktion (CVD, NOCVD)
• Beschichtung von Solarzellen
• Fertigung von LCD-Paneln
• Mikromechanik: Ätzverfahren in der Mikrochipfertigung
• Festplattenherstellung
• Glasfaserbeschichtung
• Herstellung / Verarbeitung von polykristallinem Silicium (Polysilicium, „Solarsilicium)